Методы и приборы для анализа электронных компонентов в микро - и наномасштабе
коллектив авторов
Предлагаемое учебное пособие ставит целью ознакомить студентов с основами наиболее востребованных методов электронной и ионной спектроскопии, широко применяющимися для анализа материалов, структур и компонентов электронной техники в микро и наномасштабе
В пособии описываются методы электронной и ионной спектроскопии для анализа поверхности, особенности их реализации для исследования полупроводниковых материалов и компонентов электронной техники, и особенности подготовки образцов для анализа. В пособии также приводятся некоторые сведения об устройстве спектрометров и их компонентов.
В пособии описываются методы электронной и ионной спектроскопии для анализа поверхности, особенности их реализации для исследования полупроводниковых материалов и компонентов электронной техники, и особенности подготовки образцов для анализа. В пособии также приводятся некоторые сведения об устройстве спектрометров и их компонентов.
Categorias:
Ano:
2011
Editora:
СПбГПУ
Idioma:
russian
Páginas:
190
Arquivo:
DOC, 16.09 MB
IPFS:
,
russian, 2011
Litres
Quer adicionar a sua livraria? Entre em contato conosco em support@z-lib.do
Converter ficheiros 
Mais resultados de pesquisa
Outros benefícios 
